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SCG200系列半導(dǎo)體級單晶硅爐

應(yīng)用領(lǐng)域：主要應(yīng)用于8英寸硅片制造。

SCG300系列半導(dǎo)體級單晶硅爐

應(yīng)用領(lǐng)域：主要應(yīng)用于12英寸硅片制造。

SCG400系列半導(dǎo)體級單晶硅爐

應(yīng)用領(lǐng)域：主要應(yīng)用于12英寸重?fù)焦杵?2-18英寸半導(dǎo)體硅耗材制造。

JSSD系列感應(yīng)加熱PVT碳化硅單晶爐

應(yīng)用領(lǐng)域：主要用于生產(chǎn)4-8英寸碳化硅單晶襯底。

SCET420系列感應(yīng)加熱PVT碳化硅單晶爐

應(yīng)用領(lǐng)域：主要用于生產(chǎn)4-8英寸碳化硅單晶襯底。

SCMP系列感應(yīng)加熱PVT碳化硅單晶爐

應(yīng)用領(lǐng)域：主要用于生產(chǎn)4-8英寸碳化硅單晶襯底。
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