產(chǎn)品中心
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PRODUCTS
SCMP/LP系列TSSG法碳化硅單晶爐
所屬分類：
應(yīng)用領(lǐng)域：主要用于碳化硅單晶襯底。
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產(chǎn)品描述
◆ 設(shè)備采用TSSG法長(zhǎng)晶，可獲得更高質(zhì)量的晶體；
◆ 配備CCD晶體直徑監(jiān)測(cè)系統(tǒng)、厚度監(jiān)測(cè)系統(tǒng)，實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)晶體生長(zhǎng)狀態(tài)以提升長(zhǎng)晶效率；
◆ 配合擴(kuò)徑工藝，可實(shí)現(xiàn)大尺寸碳化硅單晶生長(zhǎng)，同時(shí)可獲得高載流子濃度的P型碳化硅單晶。
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