產(chǎn)品中心
碳化硅原料合成爐 HC-SCET1000系列
所屬分類：
應用領域：主要應用于根據(jù)客戶差異化應用需求，研發(fā)的定制化晶體生長設備
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產(chǎn)品描述
◆ 設備采用分段式高純度石墨電阻加熱及熱場結構，溫場均勻性好；
◆ 通過氣流路徑優(yōu)化與熱場防護技術，具有高腐蝕性氣氛下排雜、雜質(zhì)的定向沉積與熱場穩(wěn)定的特點；
◆ 可滿足高品質(zhì)碳化硅原料合成;設備最大裝料量達到100KG，大幅提升了原料合成效率。
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