產(chǎn)品中心
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氮化鋁原料提純爐ANET920系列
所屬分類：
應(yīng)用領(lǐng)域：主要應(yīng)用于根據(jù)客戶差異化應(yīng)用需求，研發(fā)的定制化晶體生長(zhǎng)設(shè)備
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產(chǎn)品描述
◆ 設(shè)備采用全金屬保溫系統(tǒng)，可靠的密封設(shè)計(jì)可有效降低晶體中的碳和氧元素含量；
◆ 分段式鎢網(wǎng)加熱器溫度梯度可控，周向溫度均勻性好；
◆ 多種測(cè)溫方式相結(jié)合使得測(cè)溫精度高；
◆ 自主開發(fā)的溫度、壓力控制系統(tǒng)，可兼容多種溫度、壓力控制模式，滿足不同長(zhǎng)晶工藝的需求。
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