產(chǎn)品中心
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碳化硅原料合成爐 HC-SCET1000系列
所屬分類：
應(yīng)用領(lǐng)域：主要應(yīng)用于根據(jù)客戶差異化應(yīng)用需求，研發(fā)的定制化晶體生長(zhǎng)設(shè)備
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產(chǎn)品描述
◆ 設(shè)備采用分段式高純度石墨電阻加熱及熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)，溫場(chǎng)均勻性好；
◆ 通過(guò)氣流路徑優(yōu)化與熱場(chǎng)防護(hù)技術(shù)，具有高腐蝕性氣氛下排雜、雜質(zhì)的定向沉積與熱場(chǎng)穩(wěn)定的特點(diǎn)；
◆ 可滿足高品質(zhì)碳化硅原料合成;設(shè)備最大裝料量達(dá)到100KG，大幅提升了原料合成效率。
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