產(chǎn)品中心
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集成電路刻蝕用硅材料長晶爐MSIR1050系列
所屬分類：
應(yīng)用領(lǐng)域：主要應(yīng)用于根據(jù)客戶差異化應(yīng)用需求，研發(fā)的定制化晶體生長設(shè)備
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產(chǎn)品描述
◆ 設(shè)備采用坩堝下降法，多溫區(qū)控溫，通過優(yōu)化氣路設(shè)計(jì)，可有效避免熱場和晶體的相互污染；
◆ 自動(dòng)化程度高，可根據(jù)需要定制晶體形狀，提高效率和原料的利用率。