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電阻加熱PVT SCR950系列碳化硅單晶爐

應(yīng)用領(lǐng)域：主要用于生產(chǎn)4-8英寸碳化硅單晶襯底。

SCMP/LP系列TSSG法碳化硅單晶爐

應(yīng)用領(lǐng)域：主要用于碳化硅單晶襯底。

藍(lán)寶石單晶爐SET280系列

應(yīng)用領(lǐng)域：主要應(yīng)用于260KG級藍(lán)寶石單晶生長，作為LED芯片主要襯底材料

藍(lán)寶石單晶爐SET300系列

應(yīng)用領(lǐng)域：主要應(yīng)用于300KG-420KG級藍(lán)寶石單晶生長，作為LED芯片消費電子主要材料

碳化硅原料合成爐 HC-SCET1000系列

應(yīng)用領(lǐng)域：主要應(yīng)用于根據(jù)客戶差異化應(yīng)用需求，研發(fā)的定制化晶體生長設(shè)備

氮化鋁原料提純爐ANET920系列

應(yīng)用領(lǐng)域：主要應(yīng)用于根據(jù)客戶差異化應(yīng)用需求，研發(fā)的定制化晶體生長設(shè)備
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